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当第一块液晶屏试制出来，在了解了技术细节之后，郭东就感叹说：“看来这项技术的缺点也很明显，它只能达到u米级精度，我们算是白忙活了。”
“也不能这么说，其实日常生活中，低级别的芯片用的是最多的，比如普通的小家电所用的芯片以及普通的工控芯片。我们能减少低级别芯片的工序也是了不得的进步。”这时，权威专家洪涛就站出来给大家打气了。
“唉！好吧！我们先试试吧！还不知道能不能代替激光刻蚀呢？”郭东又发感慨了，真是一个多愁善感的人。
要试很简单，因为不是硅晶圆因此无须无氧环境，只要一间暗室就可以了。暗室也不是真的暗，黄光还是可以的。
他们实验了一下，情况还好，只要掩模板与液晶屏隔得足够近，大概几纳米的样子，光的漫散现象还是不严重。也就是说用液晶屏代替激光蚀刻掩模板获得了成功，虽然只能用在低制程芯片技术上，但是因为图形转移快捷，可以说是非常有用的一项技术了。
接下来就是真正研制光刻机了。由于一些技术难点郭东他们还是长胜精工技术部的时候就早已解决了，因此他们直接进入了设计环节。
为了最大程度的提高效率和减少氩气用量，郭东要技术员将工作台里面的活动机构的最大行程设置为5毫米。也就是说从最上面的激光到最下面的基片面只有5毫米，这个5毫米中间还有一个有缺口的托架，托架是放掩模板的平台，它只能上下移动。而那个缺口就是为微型机械臂输送掩模板用的。
掩模板至少得有一毫米厚，托架也至少得有二毫米厚，加上微型机械臂占去了一点点厚度，也就是说在输送掩模板的过程中，与上面的激光头和下面的基片上下相差不到一毫米了，玩的就是这么精密。
当然硅晶圆基片，它是最后才放进来的，而且微型机械臂是从下面输送进来的，不占用这5毫米的工作空间。
硅晶圆基片台是真正的固定，它不需要移动。唯一能上下左右移动的就是激光头。激光头不止一个，而是一排。就像刷卡一样，它只要刷一次就够了。
看起来很简单，其实他最难的是怎么控制掩模板与基片之间只相差几纳米，激光头与掩模板之间只相差几纳米。就是这一个难点就难住了许公司，这需要纳米级加工工艺才能做到。而恰好长胜投资集团就能做到，道理就是这么简单。
掩模板不止一块，而是有许多块。因此他有另外一套安置机构，就像机床的刀具换刀系统一样。为了最大限度地节省空间，它是平行环绕在工作台的周围的，它能环绕转圈，能根据电脑的指令，将下块需要的掩模板输送到微型机械臂的面前。原理和机床的数控换刀系统是差不多的。
为什么要把工作台设置的这么薄呢？就是为了减少上下移动所花费的时间，还有也减少了运动势能，这就相应的增加了上下移动的控制精度。
到了这时，如果仅仅从光刻机的角度看，长胜投资集团的芯片制程工艺已经超过了2017年的世界水平。郭东他们设计的光刻机甚至能达到10纳米以内的制程工艺，当然激光头还需改进成为聚焦式激光头。但是从纯机械的角度看，他们是真的达到了。
不过芯片制程是一个系统的工程，不是简单的机械精度就够了，其实最制约制程工艺的是化学蚀刻环节。在以后的章节中我会祥细讲解。
在以往的工业文中，有作者提到浸润式激光技术，能翻倍提高蚀刻精度。那是因为当时所处的时代，激光精度低所导致的，长胜投资集团所用的极深紫外光是2016年才研发的技术，激光精度一下子提高了几十倍，远远不是什么浸润式激光头技术所能比拟的。
光刻机研制成功了，郭东他们进行了多次实验，发现蚀刻精度非常高，已经完全达到或超过了要求。洪涛甚至直言自家的技术已经远远超过了美国，他能这么说，是有道理的。
他是留美电子工程博士，他在美国见过光刻机实物。也知道他们的芯片制程工艺级别。虽然已经过了好多年，但他根据摩尔定律推测，自家的技术也远远超过了美国几个量级。
郭东他们第一时间将这个好消息报告给了沈丹青，沈丹青马上就来到了长胜精工。他在现场认真听取了郭东他们的讲解，不住的满意的点头，就像小鸡啄米一样的勤快，完全没有意识到这样会不会伤脖子。
他太高兴了，光刻机直到2017年都是中国的一块短板，如今他们公司已经研制出来了，可以说已经为中国补上了短板，他能不高兴吗？这可不是钱所能做到的。他想象未来中国每年几千亿美元的芯片进口额度没有了，那中国又是怎样的一个情况呢？画面太美，以致于他不敢再想象了。
他收拢心思、稳定了情绪就又问郭东道：“离子注入机研制得怎么样了？”
“对不起！老板，我不知道？”郭东被问得哑口无言，他的心思全用在研制光刻机上了，哪里知道另外一组的情况。
幸好这时卢汝成赶忙来补救，他急忙向老板说道：“老板，我们分组了，我们一门心思都在研制光刻机上了，一有了结果就马上报告给你了。因此还不知道另外一组的情况。请您恕罪。”
听到卢汝成的解说，沈丹青的脸色立刻多云转晴了，于是他微笑地对他们说：“是这样就怪不得你们了，两耳不闻窗外事，这是所有科研人员的通病嘛！哈哈哈哈！好啦！你们这边解决了，我们去看看另外一组的情况吧！”
可是他的好心情没有持续多久，到了另外一组一了解，他们居然还在理论研究阶段，令他几乎是咆哮似的发怒了：“你们是怎么搞的？另外一组的光刻机已经研制成功了，甚至还附带研发了液晶屏蚀刻技术，你们居然还没有开始实验！办事太拖沓了。看来你们是没有一个好头，都各自为政，只顾得扯皮了。这样吧！由于离子注入机的实际情况，物理研究所所占的比重最大，我现在就明确规定，物理研究所的王所长为这次研制任务的负责人。还是采取事业部制度，王所长为事业部部长，在整个集团内，他有权调动任何人和材料。任何人不得反对和阻扰，否则我会重处。”
然后他又用严厉的语气对王卫红说：“王所长，我已给你最大的权利了，我只要你赶快给我结果，你能做到吗？”
王卫红以及在场的除了光刻机研制组的人早就给老板的怒气给吓住了，老板又如此严厉的问他，他只能哆哆嗦嗦地回答道：“能……我能……老板，我一定能。”
最后一句，它既是给老板的回答又是给自己壮胆。老板的气场太强大了，他一个没有什么资历的新任所长，有点扛不住啊！
未完待续……
第110章：立场
离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外，还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要的离子，再经过加速器获得较高能量，由四级透镜聚焦后进入靶室，进行离子注入。
从中我们可以看出，技术难度是非常大的，而且长胜投资集团几乎没有任何技术储备。只有扫描系统，在研制数控机床的时候，已经研制了这项技术。后来，为了研制电子隧道扫描镜和纳米级数控机床，又对这项技术改进了一个量级。达到了纳米级扫描精度。
不过这个设备与cvd设备有许多技术重合点，总算不是从头开始。这里面最难的是质量分析器和粒子加速器了，至于四级透镜，这是一个纯工艺问题，对长胜精工来说就不是什么问题了。幸好物理研究所就有质量分析器和粒子加速器这两样实验设备，都是从国外偷偷搞回来的。于是他们的研究就从研究这两样科研设备开始，王卫红带领研究组开始了艰难的研发。
先不说他们，因为他们会很费时间。让我们的镜头移到千里之外的长沙。招商局的曾局长，在了解了长胜投资集团的底细之后，对卢晓东的谈判组的态度立马热情了许多，也真诚了许多。
现在身份掉了个个了，是他亲自带人上华天酒店来谈判了。
“卢律师，你们看中了哪块地皮尽管说，我们特事特办，立马会帮你们把手续办好。你们是独立的工业园，只要一个大框架就行了。”曾局长一开始就讲了一通大话，好像很豪爽的样子，但是不久就立马转变了语气，他期期艾艾地问卢晓东道：“就是不知道工业园内的道路，是要我们给你们修还是你们自己修？”
“对不起！曾局长，这个我也不知道，我还需要问过老板才能给你回答。”卢晓东也被难住了，这可不是小事，需要花费的资金是亿计的，需要老板亲自点头才能拍板。
“理解、理解，那我等你的好消息。”曾局长也知道这个问题有点大，按照沿海地方工业园的规矩，本来应该是他们修建的，这件事根本没什么可商量的，但长胜投资集团是建独立的工业园，就又有些不同，因此他试着问了，如果长胜投资集团答应了自己修，那他就可以为政府省下许多钱，也算是尽职尽责了，他可以拿着到市长那里邀功的。
由于这件事情的关系，曾局长就没有继续深入的谈判了，闲聊了一阵就带着人告辞了。
卢晓东等曾局长到后，就利用酒店的电话，打给了老板。
“喂，这里是长胜投资集团总经理办公室。”由于是外线电话，刘泽平总是很正式的报告身份。
“刘秘书你好！我是卢晓东，我有一件重要的事要向老板汇报，麻烦你帮我通传。”刘秘书是老板身边的人，因此卢晓东很恭敬的回话。
“好的，卢主任你稍等一下，我马上帮你接通。”刘泽平知道事情的轻重，因此没有通传，直接帮他转接了。
“嘟”随着一声机械的声音，话筒里马上传来了老板威严的声音：“喂，我是沈丹青”
“老板，我是卢晓东。刚刚招商局的曾局长，问了我一个问题，我不能回答，因此才打电话问你。打扰老板你的工作了，实在对不起！”卢晓东听到老板的声音，就赶紧说明来意。
“什么事？”话筒那头的沈丹青惜字如金，只问了短短的一句。
但在卢晓东的耳朵里却威严十足，因此他赶紧补充说道：“他问我园区内的道路是他们修还是我们修，这个要花费的资金太大了，我做不了主，只有老板你才能回答了。”
话筒里一时没有了声音，电话的另一头，沈丹青听到这个问题，也得用心的想想了。
他足足考虑了好几分钟，才回答道：“道路归我们修，因为工业园区不仅仅有我们公司，还有许多当地的农户，另外还有几条过境道路。你跟他们商量一下，看能不能一人一半。”
沈丹青这样考虑，是因为当时国内的道路标准很低，沥青和现在的沥青都不一样，夏天温度太高，就会溶化，走在上面沾鞋。但是国外已经发明了改性沥青技术，就在今年，首都国际机场，引进了奥地利的改性沥青技术，使机场跑道性能大大提高。
沈丹青是完美控，他当然不可能还使用国内落后的技术。其实改性沥青主体材料还是普通沥青，只不过需添加改性添加剂以及混合料。混合料都是普通的东西，是为了增加沥青路面的刚性而特意添加的，比如：石灰粉、矿石粉、煤渣粉、石棉纤维等。唯一科技含量高的就是改性添加剂，这个用量不大，可以进口，也可以让化学研究所研究。反正他需要高质量的沥青路面，有鉴于此，因此道路只能自己修了，他可不想以后不停的修修补补，要搞就要搞好点，这就是他的性格。
第二天，曾局长又上门了。他进门就首先打了招呼：“卢律师，早啊！”
“你也早，曾局长。”卢晓东也礼貌的回应。
“不知道我昨天的提问，你们老板怎么说？”曾局长开门进山，直接问了重要的问题，他很想知道答案，这对他非常重要。
“昨天你走后，我就打电话回公司问了老板。我们老板说了：道路归我们修，但你们是要付一半的费用。因为园区内还有当地农户，以及几条过境道路。本来工业园的道路，是该你们修的，三通一平可是国家的政策，曾局长，这一�